起诉征地补偿款份额，需遵循以下步骤：首先，明确自身权益主张，确定应得的征地补偿款份额。收集相关证据，如土地权属证明、征地补偿安置方案、与征地相关的协议等，以证实自身对补偿款份额的主张。接着，撰写起诉状，清晰阐述原告和被告信息、诉讼请求（即要求分割的具体补偿款份额及金额）、事实与理由（详细说明征地情况及自身应得份额的依据）。然后，向有管辖权的人民法院提交起诉状及证据材料，办理立案手续。法院受理后，会安排开庭审理。在庭审过程中，双方需围绕案件事实和证据进行陈述、举证、质证和辩论。法院将依据事实和法律作出判决。若对判决结果不服，可在规定期限内上诉至上级人民法院。整个过程中，要严格按照法定程序进行，确保自身合法权益得到公正维护，以争取应得的征地补偿款份额。

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